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微电子与半导体行业---固晶机

发布时间 : 2017-06-16 10:08:18浏览量:1249

  微电子与半导体行业---固晶机

  需求:高速高精度,整套工艺动作单臂120ms,固晶臂摆动角度 175度;

  固晶动作定位精度2-5u;更为重要的是固晶时需要停得稳,停得准。

  固晶机产量巨大,对自动固晶动作的速度和准确度提出了极为严苛的要求,在高频率 摆臂动作中,要实现5u的固晶精度。为了达到这些严苛要求,需要一系列复杂的机械和控制技术。恒昱控制的HY5800运动控制卡,为满足高速高精度的点位运动需求,提供了令人满意的性能平台。提供了完美的运动速度控制曲线,定制了行业工艺函数,彻底杜绝了速度波动毛刺,完成了高速平稳的固晶运动。

  系统架构:PC+运动控制器HY5800+驱动器+电机+固晶机摆臂机构+XYZ平台